18701761086
Product category
Related articles
Chiller主要用于半導體制程中對多路反應腔室的精準控溫,裝置由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成,采用先進的控制算法,提高了chiller的穩定性、控溫精度和反應速度。在帶負載的情況下控溫精度可達±0.5℃,可在-20℃~85℃之間任意控溫,有良好的溫度穩定性。
半導體溫控設備Chiller由制冷,加熱單元,循環,控制系統組成,全密封結構對環境友好,產品系統多,控溫范圍廣,智能化控制軟件,加熱制冷速度快。
聯系我們
咨詢電話