風冷型冷水機
PTLQ系列氣體制冷機用于氣體的降溫與冷卻,也可選擇進行升溫與恒溫控制。氣體通常為干燥的壓縮空氣或氮氣、氬氣等惰性氣體。進氣溫度可以是常溫的,也可以是高溫的,經過氣體制冷機降至目標低溫。針對于晶圓測試載冷臺的應用來說,氣體制冷機相比較于傳統的液冷有諸多優勢,如使用方便、安全衛生、成本低、無異味等??蛻艨筛鶕怏w處理流量及溫度來選擇設備。系統主要由制冷系統、換熱系統、控制系統、箱體等組成。制冷系統采用蒸汽壓縮式制冷,壓縮機及主要制冷部件均采用品牌。換熱系統包括高效換熱器、連接管路、保溫等組成??刂葡到y采用西門子PLC,自適應PID控制算法,面對不同的使用環境和負載,無需改變參數,即可實現最佳的溫度控制。高清觸摸屏顯示,完善的安全保護措施,設置有多種安全保護機制以確保系統的安全運行??刂破魑锫摼W,可在手機APP上進行遠程查看數據、報警信息和遠程操控;可選配冷量回收裝置,提升能效,避免低溫冷凝水,通過機組自身的制冷,將進入裝置內的干燥氣體進行降溫及恒溫處理,滿足工藝條件要求。
快速降溫:自主設計的高效換熱系統,常溫的干燥壓縮空氣或者氮氣通入到PTLQ氣體制冷機后,出來的氣體即可達到目標低溫溫度。
一體式結構:在工廠已將系統整體組裝完畢,用戶只需要將電源、氣體管路、冷卻水管路安裝完畢即可開機運行。
防爆設計:可根據客戶實際使用需求,定制各種類型的防爆設計。
高效換熱系統:蒸發器采用板式換熱器部分產品可能會采用翅片管式換熱器,換熱效率高,結構緊湊,耐壓高,承壓能力大于2.5MPa。
控制重復性:基于高級動態控制系統,每次都能實現一致的控制結果,大大提升產品生產的穩定性。
控溫系統:自主開發的溫度控制模塊,改變控制設定的方法,能夠盡快的響應過程中系統的滯后,得到最小的溫度過沖??刂朴蓛山MPID(每組PID是可變的)控制回路構成,這兩組控制回路成為主回路和從回路,主回路的控制輸出作為從回路的設定值。系統采用帶有前饋PV,主控回路的PID運行結果的輸出與前饋PV信號復合后作為主控回路的設定值,通過這樣對溫度變化進行梯度控制,保證系統的溫度精度。
質量保障:所有的關鍵部件均選用進口品牌,確保產品長時間可靠運行。同時所有產品發貨前均經過嚴格測試與檢驗,確保設備到客戶現場不會出現任何問題。
風冷型冷水機